連續回轉PECVD系統

功率

4KW

電壓

AC220V  50/60Hz

zui高溫度

1200°C

使用溫度

1100°C

加熱長度

200mm+200mm

恒溫長度

250mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節

智能化30段可編程控制

超溫和斷偶報警功能

操作界面為10 "液晶觸摸屏控制

控溫精度

+/- 1℃

爐管尺寸

Size：Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

尺寸：Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

Furnace tube rotation rate：0~60r/min

爐管轉速：0~60r/min

Furnace body inclination angle

0~35°（adjustable）

Plasma系統

本系統借助于輝光放電產生等離子體，輝光放電等離子體中，電子密度高，通過反應氣態放電，有效利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式。

T

進料系統

送料系統速度連續可調，停止送料且爐體傾斜zui大時，物料不會從送料系統外漏，送料系統方便拆卸，拆卸后可手動加料，設備可正常運行。

T

出料系統

出料系統在爐體傾斜出料時可自動出料。）

氣體控制系統

該控氣系統是可以控制兩種氣體按照不同流量進行混合配比的，也可以獨立控制，質量流量計安裝于密封的可移動的機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

低真空系統

該系統配備真空機械泵，可以抽真空，可以讓設備在真空環境下進行反應。

氣料分離系統

該系統可以讓設備在充氣體保護或者抽真空時，實現氣體與物料的分離。

過濾系統

該系統可防止物料進入真空泵，保證真空泵的正常運行。

爐管轉動系統

爐管轉動系統可以讓爐管360°勻速轉動，轉速在0-60r/min連續可調，且能在60r/min轉速下長時間運行。