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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
回轉CVD設備組成：
加熱系統，爐管轉動系統，螺旋送料系統、供氣系統、真空系統、工控及操作系統。
1、回轉CVDS加熱系統：
該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統。
高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控員的干預，可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號，同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經驗的要求。
2、爐管轉動系統：
爐管轉動系統可以讓爐管360°勻速轉動，轉速在0-60r/min連續可調，且能在60r/min轉速下長時間運行。管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻。
3、螺旋送料器：
先將樣品儲存于樣品罐中，通過螺旋送料器將樣品送入石英管內。樣品送完之后送料桿退回到原始位置。周而復始，達到自動送料。
4、供氣系統：
供氣系統是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比，也可根據實驗需求加裝洗氣裝置，質量流量計安裝于密封的可移動機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成，觸摸屏控制。
5、真空系統：
真空機組，內部安裝BSV-60機械泵1臺，電阻真空計1套，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。
三、加熱主體設備技術參數：
腔體尺寸 | 外徑Φ280 ，Φ300，Φ400，Φ500，Φ600尺寸可選 （中間異型區域尺寸） |
爐膛保溫材料 | 氧化鋁纖維 |
表面溫度 | ≤60℃ |
加熱元件 | 進口KTL電阻絲 |
加熱區數量 | 5區，每個溫度獨立控制，使溫場均勻性更好 |
加熱區長度 | 300+300+300+300+300mm |
恒溫區長度 | 真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下，兩個溫區設定同一溫度是恒溫區可達1200mm |
z高溫度 | 1200℃ |
建議長時間使用溫度 | ＜1100℃ |
控溫精度 | ±1℃ |
升溫速率 | 0-20℃/min，建議升溫速率10℃/min |
設備功率 | 28KW |
設備工作電源 | 380V/50HZ |
熱電偶型號 | K型 |
控制器 | 可編程控溫儀表，PID調節，升、降保溫全自動 |
控溫方式 | 人機界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數字工控儀表雙控，采用工業智能控溫儀表和軟件實現雙控，采用模糊型PID控制 |
無紙記錄 | 內置存儲記錄運行工藝數據，外接USB接口，可以電腦連接一鍵拷貝數據 |
結構描述 | 設備可對半電動開啟，加快冷卻速度、表面溫度低于60℃ |
轉動密封收集系統 | 爐管一端配有不銹鋼密封可轉動水冷法蘭、螺旋送料裝置 |
四、3路供氣系統參數
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程（N2) | 500sccm、1000sccm、2000sccm（量程型號根據要求定制） |
zda壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6 |
顯示 | 液晶屏顯示 |
工作環境溫度 | 5~45高純氣體 |
內外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6卡套接頭 |
五、真空機組參數：
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作環境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1千瓦 |
抽氣速率 | 60m³/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進氣口口徑 | KF40 |
排氣口口徑 | KF40 |
連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
電阻真空計參數： | |
配用規管： | ZJ-52T電阻規， |
測量范圍： | 10 5 ～10 -1 Pa， |
測量路數： | 1路 |
控制范圍： | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， |
控制方式： | 繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載 |
電源： | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， |
功耗： | 20W |
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