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滑軌式CVD石墨烯生長系統

簡要描述:滑軌式CVD石墨烯生長系統是專為生長石墨烯、碳納米管研制的生長專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗,溫區可獨立程序控制,設備操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環境下,得到快速的降溫速率。

  • 產品型號:BTF-1200C-SL-CVD
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2021-09-27
  • 訪  問  量:1028

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詳細介紹

品牌其他品牌產地類別進口
應用領域電子,綜合

設備滑軌式CVD石墨烯生長系統特點

此款設備是專為生長石墨烯、碳納米管研制的生長專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗,溫區可獨立程序控制,設備操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環境下,得到快速的降溫速率。

1.滑軌式CVD石墨烯生長系統加熱系統

最高溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

石英管尺寸

Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1400mm

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數自整定。

加熱長度

440mm

恒溫區長度

200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V,50Hz


2、三路質子流量控制系統

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

200sccm,500sccm、1000sccm(可根據用戶要求定制)

準確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6


3、低真空機組

空氣相對濕度

≤85%

工作環境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

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